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中文图书1.集成电路与等离子体装备 TN4/88
馆藏复本:3
可借复本:2 赵晋荣等主编
科学出版社 2024
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中文图书2.电子束曝光微纳加工技术 TN305.7/5
馆藏复本:1
可借复本:0 顾文琪主编
北京工业大学出版社 2004
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中文图书3.集成电路与光刻机 TN4/81
馆藏复本:3
可借复本:2 王向朝, 戴凤钊等著
科学出版社 2020
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中文图书4.衍射极限附近的光刻工艺 TN305.7/4
馆藏复本:2
可借复本:0 伍强等编著
清华大学出版社 2020
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中文图书5.ZnS材料的刻蚀技术研究 TN305.7/3
馆藏复本:1
可借复本:0 邢静著
西安工业大学 2013
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中文图书6.光致抗蚀剂:光刻胶 TN305.7/1
馆藏复本:1
可借复本:1 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》编著
科学出版社 1977
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中文图书7.离子束技术及应用 TN305.7/2
馆藏复本:3
可借复本:3 刘金声编著
国防工业出版社 1995.3
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日文图书8.フォトエッチングと微细加工 TN305.7/J1
馆藏复本:2
可借复本:2 栖岡清威, 二瓶公志著
給合電子出版社 1977
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