MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：24
- 题名/责任者:
- ZnS材料的刻蚀技术研究/邢静著 蔡长龙指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2013
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 49页;29cm
- 个人责任者:
- 邢静 著
- 个人次要责任者:
- 蔡长龙 指导
- 非控制主题词:
- 硫化锌；感应耦合等离子体刻蚀；工艺参数；刻蚀特性
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 学位论文附注:
- 硕士论文——西安工业大学光电工程学院，2013
全部MARC细节信息>>
MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：24
特种