MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：2
- 题名/责任者:
- 集成电路与等离子体装备/赵晋荣等主编
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2024
- ISBN及定价:
- 978-7-03-077546-7 精装/CNY168.00
- 载体形态项:
- 282页:彩图;25cm
- 个人责任者:
- 赵晋荣 主编
- 学科主题:
- 集成电路
- 学科主题:
- 等离子刻蚀-设备
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍了集成电路中与等离子体设备相关的内容，具体包括集成电路简史、分类和发展方向以及面临的挑战，气体放电的基本原理和典型应用、等离子体刻蚀工艺与设备、等离子体表面处理技术与设备、物理气相沉积设备与工艺、等离子体增强化学气相沉积工艺与设备、高密度等离子体化学气相沉积工艺与设备、炉管设备与工艺等。
全部MARC细节信息>>
| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/88 | CN1916277 |  内阅图书
|
阅览 | 内阅图书 | |
| TN4/88 | CN1916278 | 未央馆
|
可借 | 未央馆 | |
| TN4/88 | CN1916279 | 未央馆
|
可借 | 未央馆 |
显示全部馆藏信息