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检索到 2 条 主题词=等离子刻蚀 的结果    

 


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  1. 中文图书1.集成电路与等离子体装备 TN4/88

    馆藏复本：3
    可借复本：2     赵晋荣等主编
    科学出版社 2024
    (0) 馆藏

  2. 中文图书2.等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 TN405.98/1

    馆藏复本：2
    可借复本：0     张海洋等编著
    清华大学出版社 2018
    (0) 馆藏

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