MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:13
- 题名/责任者:
- 电子束曝光微纳加工技术/顾文琪主编 王理明 ... [等] 著
- 出版发行项:
- 北京:北京工业大学出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-5639-1300-9/CNY50.00
- 载体形态项:
- 310页:图;26cm
- 个人责任者:
- 顾文琪, 1941- 主编
- 个人次要责任者:
- 王理明 著
- 学科主题:
- 电子束-曝光
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 书目附注:
- 有书目。
- 提要文摘附注:
- 本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景,同时,详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标,电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。
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