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中文图书1.机械设计手册:单行本,微机电系统及设计.第6版 TH122-62/49=6
馆藏复本:3
可借复本:2 闻邦椿主编
机械工业出版社 2020
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中文图书2.微机电系统原理 TH-39/131
馆藏复本:2
可借复本:1 (韩) Ki Bang Lee著
国防工业出版社 2014
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中文图书3.微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用 TM38/19
馆藏复本:3
可借复本:2 邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著
哈尔滨工业大学出版社 2016
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中文图书4.微机电系统及工程应用 TN38/2
馆藏复本:4
可借复本:3 莫锦秋, 梁庆华, 王石刚编著
化学工业出版社 2015
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中文图书5.微机电系统基础 TM38/18
馆藏复本:4
可借复本:3 (美) Chang Liu著
机械工业出版社 2013
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中文图书6.微机电系统设计与制造 TM38/14
馆藏复本:6
可借复本:6 刘晓明, 朱钟淦编著
国防工业出版社 2006
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