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题名/责任者:

微机电系统基础/(美) Chang Liu著 黄庆安译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2013

ISBN及定价:

978-7-111-40657-0/CNY69.00

载体形态项:

397页:图;26cm

统一题名:

Foundations of MEMS

丛编项:

国外电子电气经典教材系列

个人责任者:

刘昶 (Liu, Chang) 著

个人次要责任者:

黄庆安 译

学科主题:

微电机-教材

中图法分类号:

TM38

版本附注:

本书据Pearson Education 2012年英文版第2版译出

出版发行附注:

本书经Pearson Education授权出版

责任者附注:

责任者汉译名取自在版编目: 刘昶

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书全面论述了微机电系统(MEMS)的基础知识,涵盖了MEMS技术的主要方面,同是引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文,为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提练了四个典型的传感器实例:惯性传感器、压力传感器、流量传感器和触觉传感器,并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法。

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