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题名/责任者:

微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用/邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-5603-5109-4/CNY48.00

载体形态项:

301页:图;23cm

并列正题名:

MEMS technology foundation and application

个人责任者:

邱成军 编著

个人责任者:

曹姗姗 编著

个人责任者:

卜丹 编著

学科主题:

微电机-高等学校-教材

中图法分类号:

TM38

一般附注:

“十二五”国家重点图书

提要文摘附注:

本书着重从基本理论和具体应用方面阐述MEMS 工艺。主要介绍MEMS 的概念、发展现状与趋势及力学相关知识；重点阐述MEMS 实现工艺，主要有刻蚀( 包括各向同性和各向异性刻蚀的原理、实现的方法、以及刻蚀自停止技术和干法刻蚀) ，表面微加工工艺的基本原理及其常用材料。

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