西安工业大学图书馆书目检索系统

Online Public Access Catalogue

题名/责任者:

微机电系统原理/(韩) Ki Bang Lee著 马晓军 ... 等译

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-118-09432-9 精装/CNY180.00

载体形态项:

x, 597页:图;25cm

并列正题名:

Principles of microelectromechanical systems

丛编项:

国防科技著作精品译丛

个人责任者:

李基邦 著

个人次要责任者:

马晓军 译

学科主题:

微电机-理论

中图法分类号:

TH-39

版本附注:

据原著2011年英文版译出9

出版发行附注:

由John Wiley & Sons International Rights, Inc.授权出版

责任者附注:

责任者Ki Bang Lee汉译名: 李基邦

书目附注:

有书目 (第593-595页)

提要文摘附注:

本书通过一种统一的方法和微观力学问题的解析解(封闭形式解)阐述了MEMS的原理。全书以概述MEMS开始，并介绍了量纲分析，提供了在宏观和微观世界中存在的基本无量纲参数。然后说明了微制造，给出了设计实际MEMS的一般制造工艺相关的知识。提供了元件和系统的理论模型，并获得了静态和动态响应的解析解。

豆瓣简介：