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• 010 __ |a 978-7-118-09432-9 |b 精装 |d CNY180.00

• 021 __ |a CN |b 军-2011-117

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• 200 1_ |a 微机电系统原理 |A wei ji dian xi tong yuan li |d = Principles of microelectromechanical systems |f (韩) Ki Bang Lee著 |g 马晓军 ... 等译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2014

• 215 __ |a x, 597页 |c 图 |d 25cm

• 225 2_ |a 国防科技著作精品译丛 |A guo fang ke ji zhu zuo jing pin yi cong

• 305 __ |a 据原著2011年英文版译出9

• 306 __ |a 由John Wiley & Sons International Rights, Inc.授权出版

• 314 __ |a 责任者Ki Bang Lee汉译名: 李基邦

• 320 __ |a 有书目 (第593-595页)

• 330 __ |a 本书通过一种统一的方法和微观力学问题的解析解(封闭形式解)阐述了MEMS的原理。全书以概述MEMS开始，并介绍了量纲分析，提供了在宏观和微观世界中存在的基本无量纲参数。然后说明了微制造，给出了设计实际MEMS的一般制造工艺相关的知识。提供了元件和系统的理论模型，并获得了静态和动态响应的解析解。

• 410 _0 |1 2001 |a 国防科技著作精品译丛

• 510 1_ |a Principles of microelectromechanical systems |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A wei ji dian |x 理论

• 690 __ |a TH-39 |v 5

• 701 _0 |a 李基邦 |A li ji bang |4 著

• 702 _0 |a 马晓军 |A ma xiao jun |4 译

• 801 _0 |a CN |b WUL |c 20140924

• 905 __ |a XATU |d TH-39/131

• 920 __ |a 242010 |z 1

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