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中文图书1.微机电系统 TN4/76
馆藏复本:1
可借复本:1 苑伟政, 乔大勇编著
西北工业大学出版社 2011
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中文图书2.微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用 TM38/19
馆藏复本:3
可借复本:2 邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著
哈尔滨工业大学出版社 2016
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中文图书3.微机电系统与设计 TN4/51
馆藏复本:6
可借复本:6 娄利飞编著
电子工业出版社 2010
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