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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：40

题名/责任者:
微机电系统与设计/娄利飞编著
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2010
ISBN及定价:
978-7-121-10808-2/CNY28.00
载体形态项:
204页:图;26cm
个人责任者:
娄利飞 编著
学科主题:
微电子技术-高等学校-教材
中图法分类号:
TN4
一般附注:
电子信息与电气学科规划教材·电子科学与技术类
提要文摘附注:
本书内容包括：微机电系统概论、微机电系统的工作原理、微机电系统的相关制造技术、微机电系统设计中的工程力学和尺度效应等。
全部MARC细节信息>>
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