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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:31

题名/责任者:
微电子制造科学原理与工程技术:第二版/(美)坎贝尔(Campbell, S.A.)著 曾莹, 王纪民, 严利人译
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2003
ISBN及定价:
7-5053-8313-2/CNY59.00
载体形态项:
613页:图;26cm
并列正题名:
The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication
个人责任者:
坎贝尔 S.A. 著
个人次要责任者:
曾莹
个人次要责任者:
王纪民
个人次要责任者:
严利人
学科主题:
微电子技术-教材
中图法分类号:
TN405
一般附注:
并列题名:The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication
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