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中文图书1.集成电路制造工艺技术体系 TN405/18
馆藏复本:2
可借复本:1 严利人, 周卫著
科学出版社 2017
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中文图书2.微纳尺度制造工程 TN405/11
馆藏复本:2
可借复本:1 (美) 斯蒂芬A. 坎贝尔著
电子工业出版社 2011
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中文图书3.微电子制造科学原理与工程技术:第二版 TN405/7
馆藏复本:13
可借复本:13 (美)坎贝尔(Campbell, S.A.)著
电子工业出版社 2003
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