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检索到 1 条 主题词=芯片封装；定位平台；直线电机；气体润滑；气浮驱动机构 的结果    

 


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  1. 中文图书1.面向IC封装的气浮定位平台的研究 TH133/13

    馆藏复本：1
    可借复本：0     张小龙著
    西安工业大学 2015
    (0) 馆藏

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