MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：30
- 题名/责任者:
- 面向IC封装的气浮定位平台的研究/张小龙著 刘波，张君安指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2015
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 63页;29cm
- 个人责任者:
- 张小龙 著
- 个人次要责任者:
- 刘波 指导
- 个人次要责任者:
- 张君安 指导
- 非控制主题词:
- 芯片封装；定位平台；直线电机；气体润滑；气浮驱动机构
- 中图法分类号:
- TH133
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学机电工程学院，2015
全部MARC细节信息>>
特种