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检索到 1 条 主题词=自由基等离子体；硅基光学元件；刻蚀特性；表面粗糙度；亚表面损伤； 的结果    

 


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  1. 中文图书1.自由基等离子体刻蚀硅基光学元件特性研究 TH74/131

    馆藏复本：1
    可借复本：0     李坤著
    西安工业大学 2020
    (0) 馆藏

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