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检索到 1 条 主题词=感应耦合等离子体;离子能量和角度分布;混合模拟;偏置电压 的结果    

 


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  1. 中文图书1.氢气放电离子源中等离子体机器引出离子特性的模拟研究 TP391.7/103

    馆藏复本:1
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    种展鹏著
    西安工业大学 2023
    (0) 馆藏


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