MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：13
- 题名/责任者:
- 氢气放电离子源中等离子体机器引出离子特性的模拟研究/种展鹏著 徐均琪 教授指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2023
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 60页;29cm
- 个人责任者:
- 种展鹏 著
- 个人次要责任者:
- 徐均琪 教授 指导
- 非控制主题词:
- 感应耦合等离子体；离子能量和角度分布；混合模拟；偏置电压
- 中图法分类号:
- TP391.7
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2023
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