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中文图书1.高温SiC MEMS传感器的热电特性 TM54/9
馆藏复本:3
可借复本:2 (澳)丁东安(Toan Dinh),(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen),(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著
科学出版社 2022
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中文图书2.微装配与微操作技术 TM38/12
馆藏复本:14
可借复本:12 李庆祥,李玉和等编著
清华大学出版社 2004
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中文图书3.微纳机电系统与微纳传感器技术 TH-39/188
馆藏复本:2
可借复本:1 国家自然科学基金委员会, 中国科学院编
科学出版社 2020
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中文图书4.MEMS系统级建模 TH-39/184
馆藏复本:2
可借复本:1 (德)塔玛拉·贝克唐德(Tamara Bechtold),(德)加布里尔·施拉格(Gabriele Schrag),冯丽红著
东南大学出版社 2020
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中文图书5.微机电系统(MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/183
馆藏复本:2
可借复本:1 (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary),(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
机械工业出版社 2020
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中文图书6.基于MEMS技术的热梯度器件研究 TH-39/176
馆藏复本:3
可借复本:2 聂金泉著
中国水利水电出版社 2019
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中文图书7.微型环境动能收集技术 TH-39/172
馆藏复本:2
可借复本:1 温志渝,邓丽城,温泉等著
国防工业出版社 2018
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中文图书8.硅MEMS工艺与设备基础 TM38-39/1
馆藏复本:2
可借复本:1 阮勇, 尤政编著
国防工业出版社 2018
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中文图书9.微机电陀螺工艺允差分析及优化设计 TN965/5
馆藏复本:1
可借复本:0 彭首军著
西安工业大学 2011
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中文图书10.MEMS技术及其应用 TN38/1
馆藏复本:20
可借复本:20 李德胜等编
哈尔滨工业大学出版社 2002
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