MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：54
- 题名/责任者:
- MEMS技术及其应用/李德胜等编
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2002
- ISBN及定价:
- 7-5603-1694-8/18.00元
- 载体形态项:
- 301页:图;20cm
- 个人责任者:
- 李德胜 编
- 个人责任者:
- 王东红 编著
- 个人责任者:
- 孙金玮 编著
- 个人责任者:
- 金鹏 编著
- 学科主题:
- 微机电-技术
- 中图法分类号:
- TN38
- 一般附注:
- 国家自然科学基金资助课题
- 提要文摘附注:
- 本书共分八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。
- 使用对象附注:
- 读者对象：微电子、机电一体化、精密仪器等专业的学生，工程技术人员
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
| TN38/1 | 349959 |  洪庆校区
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| TN38/1 | 880435 | 洪庆校区
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| TN38/1 | 880436 | 洪庆校区
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| TN38/1 | 880428 | 未央馆
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| TN38/1 | 880431 | 未央馆
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| TN38/1 | 880433 | 未央馆
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| TN38/1 | 349954 | 金花馆
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