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中文图书1.MEMS与微系统:设计、制造及纳尺度工程:design, manufacture, and nanoscale engineering TM38/21
馆藏复本:3
可借复本:2 (美) 徐泰然著
电子工业出版社 2017
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中文图书2.MEMS和微系统——设计与制造 TM38/11
馆藏复本:14
可借复本:13 (美)徐泰然(Tai-Ran Hsu)著
机械工业出版社 2004
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中文图书3.微机电系统封装 TN405.94/4
馆藏复本:3
可借复本:3 (美) Tai-Ran Hsu主编
清华大学出版社 2006
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