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MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:32

题名/责任者:
MEMS和微系统——设计与制造/(美)徐泰然(Tai-Ran Hsu)著 王晓浩等译
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2004
ISBN及定价:
7-111-13226-2/CNY38.00
载体形态项:
17,402页:图;24cm
并列正题名:
MEMS & Microsystems - Design and Manufacture
个人责任者:
(美) 徐泰然 (Hsu, Tai-Ran) 著
个人次要责任者:
王晓浩
学科主题:
微电机
中图法分类号:
TM38
一般附注:
并列题名:MEMS & Microsystems - Design and Manufacture
出版发行附注:
与美国麦格劳-希尔教育(亚洲)出版公司合作出版
书目附注:
书末附参考文献
提要文摘附注:
本书提供了对MEMS技术基础的深入观察,涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础,讲解了微系统工程的基本原理,列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。
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