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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:23

题名/责任者:
纳米集成电路FinFET器件物理与模型/(美) 萨马·K. 萨哈(Samar K. Saha)著 丁扣宝译
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-111-69481-6/CNY119.00
载体形态项:
13,238页:图;24cm
并列正题名:
FinFET devices for VLSI circuits and systems
丛编项:
集成电路科学与工程丛书
个人责任者:
(美) 萨哈 (Saha, Samar K.)
个人次要责任者:
丁扣宝 (1965-) 译
学科主题:
纳米材料-集成电路工艺-系统建模
中图法分类号:
TN405
版本附注:
Taylor & Francis出版集团旗下,CRC出版公司授权出版
相关题名附注:
版权页英文题名:FinFET devices for VLSI circuits and systems
提要文摘附注:
本书主要内容有:主流MOSFET在22nm节点以下由于短沟道效应所带来的缩小限制概述;基本半导体电子学和pn结工作原理;多栅MOS电容器系统的基本结构和工作原理;非平面CMOS工艺中的FinFET器件结构和工艺技术;FinFET基本理论;FinFET小尺寸效应;FinFET泄漏电流;FinFET寄生电阻和寄生电容;FinFET工艺、器件和电路设计面临的主要挑战;FinFET器件紧凑模型。
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