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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:24

题名/责任者:
纳米加工技术与原理/(加拿大) Maria Stepanova, Steven Dew编 段辉高[等]译
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2021
ISBN及定价:
978-7-118-12322-7 精装/CNY119.00
载体形态项:
XII, 318页, 10页图版:图 (部分彩图);25cm
并列正题名:
Nanofabrication : techniques and principles
个人责任者:
(加拿大) 斯捷潘诺娃 (Stepanova, Maria) 编
个人责任者:
(加拿大) 德夫 (Dew, Steven) 编
个人次要责任者:
段辉高
个人次要责任者:
陈艺勤
个人次要责任者:
胡跃强
学科主题:
纳米材料-加工
中图法分类号:
TB383
一般附注:
装备科技译著出版基金
题名责任附注:
题名页题其余译者: 陈艺勤, 胡跃强, 李平
出版发行附注:
由Springer授权出版
责任者附注:
责任者Stepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃 ; 责任者Dew规范汉译姓: 德夫
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书内容包括: 纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TB383/369 CN1884984   内阅图书     阅览 内阅图书
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