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• 021 __ |a CN |b 军-2016-144

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• 200 1_ |a 纳米加工技术与原理 |A na mi jia gong ji shu yu yuan li |d = Nanofabrication: techniques and principles |f (加拿大) Maria Stepanova, Steven Dew编 |g 段辉高[等]译 |z eng

• 210 __ |a 北京 |c 国防工业出版社 |d 2021

• 215 __ |a XII, 318页, 10页图版 |c 图 (部分彩图) |d 25cm

• 300 __ |a 装备科技译著出版基金

• 304 __ |a 题名页题其余译者: 陈艺勤, 胡跃强, 李平

• 306 __ |a 由Springer授权出版

• 314 __ |a 责任者Stepanova规范汉译姓: 斯捷潘诺娃 ; 责任者Dew规范汉译姓: 德夫

• 320 __ |a 有书目

• 330 __ |a 本书内容包括: 纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及性能等。

• 510 1_ |a Nanofabrication : techniques and principles |z eng

• 606 0_ |a 纳米材料 |A na mi cai liao |x 加工

• 690 __ |a TB383 |v 5

• 701 _1 |c (加拿大) |a 斯捷潘诺娃 |A si jie pan nuo wa |c (Stepanova, Maria) |4 编

• 701 _1 |c (加拿大) |a 德夫 |A de fu |c (Dew, Steven) |4 编

• 702 _0 |a 段辉高 |A duan hui gao |4 译

• 702 _0 |a 陈艺勤 |A chen yi qin |4 译

• 702 _0 |a 胡跃强 |A hu yue qiang |4 译

• 801 _0 |a CN |b 人天书店 |c 20211213

• 801 _2 |a CN |b PUL |c 20220303

• 905 __ |a XATU |d TB383/369

• 920 __ |a 261060 |z 1

• 998 __ |a PUL