MARC状态：已编 文献类型：西文图书 浏览次数：20
- 题名/责任者:
- Analytical and techniques for semiconductor materials & process characterization: proceedings of the satellite symposium to essderc 89 Berlin. / editors, Bernd O. Kolbesen ... [et al.] .
- 出版发行项:
- New York: The Electrochemical Society, Inc, 1990.
- 载体形态项:
- viii, 364 p. ill. 21 cm
- 附加个人名称:
- Kolbesen, Bernd O.
- 中图法分类号:
- TN304-53
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西文