MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：28
- 题名/责任者:
- 微系统设计/(美)Stephen D. Senturia 刘泽文等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2004
- ISBN及定价:
- 7-121-00422-4/CNY59.00
- 载体形态项:
- 14,453页;26cm
- 并列正题名:
- Microsystem Design
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- (美) Senturia Stephen D. 著
- 个人次要责任者:
- 刘泽文 译
- 个人次要责任者:
- 王晓红 译
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 版本附注:
- Kluwer Academic Publishers授权出版
- 书目附注:
- 有书目(第444-453页)
- 提要文摘附注:
- 本书介绍涉及微机电系统设计的方法、理论和技术，涉及MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟等，并辅助于实例研究。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM38/15 | 950890 |  内阅图书
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| TM38/15 | 950891 | 未央馆
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可借 | 未央馆 | |
| TM38/15 | 950893 | 未央馆
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| TM38/15 | 951531 | 未央馆
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| TM38/15 | 950892 | 金花馆
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