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• 200 1_ |a 微系统设计 |f (美)Stephen D. Senturia |g 刘泽文等译 |9 wei xi tong she ji

• 210 __ |a 北京 |c 电子工业出版社 |d 2004

• 215 __ |a 14,453页 |d 26cm

• 225 2_ |a 国外电子与通信教材系列 |9 guo wai dian zi yu tong xin jiao cai xi lie

• 305 __ |a Kluwer Academic Publishers授权出版

• 320 __ |a 有书目(第444-453页)

• 330 __ |a 本书介绍涉及微机电系统设计的方法、理论和技术，涉及MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟等，并辅助于实例研究。

• 461 _0 |1 2001 |a 国外电子与通信教材系列

• 510 1_ |a Microsystem Design |z eng

• 606 0_ |a 微电机 |A weidianji

• 690 __ |a TM38 |v 4

• 701 _1 |c (美) |a Senturia |9 Senturia |b Stephen D. |4 著

• 702 _0 |a 刘泽文 |9 liuzewen |4 译

• 702 _0 |a 王晓红 |9 wangxiaohong |4 译

• 702 _0 |a 黄庆安 |9 huangqingan |4 译

• 801 _0 |a CN |b 261060 |c 20060705

• 905 __ |a XATU |d TM38/15

• 991 __012006009067

• 995 __ |a 261060 |f TM38/15

• 999 __ |t E |A zn |a 20060706 10:00:19 |G unknown |g 1998010