MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:22
- 题名/责任者:
- 微纳米技术及其应用/李德胜等编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2005
- ISBN及定价:
- 7-03-015288-3 精装/CNY48.00
- 载体形态项:
- 285页:图;24cm
- 个人责任者:
- 李德胜 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-新技术应用
- 中图法分类号:
- TB383
- 一般附注:
- 863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版 北京工业大学“211工程”资助出版
- 书目附注:
- 有书目(第284-285页)
- 提要文摘附注:
- 本书在概述了微机电系统技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上,论述了MEMS基本理论基础,并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用,数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺;对各类微操作器/微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述,之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
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