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题名/责任者:

微纳米技术及其应用/李德胜等编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2005

ISBN及定价:

7-03-015288-3 精装/CNY48.00

载体形态项:

285页:图;24cm

个人责任者:

李德胜 编著

学科主题:

纳米材料-新技术应用

中图法分类号:

TB383

一般附注:

863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版 北京工业大学“211工程”资助出版

书目附注:

有书目(第284-285页)

提要文摘附注:

本书在概述了微机电系统技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用，数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺；对各类微操作器／微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述，之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术

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