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- 010 __ |a 7-03-015288-3 |b 精装 |d CNY48.00
- 100 __ |a 20060313d2005 em y0chiy0110 ea
- 200 1_ |a 微纳米技术及其应用 |9 weinamijishujiqiyingyong |f 李德胜等编著
- 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2005
- 215 __ |a 285页 |c 图 |d 24cm
- 300 __ |a 863计划MEMS重大专项资助课题 北京市自然科学基金委员会资助出版 北京工业大学“211工程”资助出版
- 330 __ |a 本书在概述了微机电系统技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上,论述了MEMS基本理论基础,并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用,数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及制造工艺;对各类微操作器/微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述,之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术
- 606 0_ |a 纳米材料 |A namicailiao |x 新技术应用
- 701 _0 |a 李德胜 |9 lidesheng |4 编著
- 801 _2 |a CN |b 261060 |c 20060316
- 905 __ |a XATU |d TB383/51
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