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题名/责任者:

微细加工技术/张甲, 王振龙, 周丽杰编著

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2024

ISBN及定价:

978-7-5767-1009-0/CNY68.00

载体形态项:

313页:图;26cm

并列正题名:

Microfabrication technology

丛编项:

先进制造理论研究与工程技术系列

个人责任者:

张甲 编著

个人责任者:

王振龙 编著

个人责任者:

周丽杰 编著

学科主题:

特种加工

中图法分类号:

TG66

一般附注:

“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目

书目附注:

有书目 (第294-313页)

提要文摘附注:

本书从当前微纳零件及微系统的制造需求出发，论述了微纳尺度下力学、热学、光学、电学等的变化特点，进而从加工原理、加工装备、加工工艺等方面阐述了各类微细加工技术的新进展。全书共11章，内容包括：微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。

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