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• 010 __ |a 978-7-5767-1009-0 |d CNY68.00

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• 200 1_ |a 微细加工技术 |A wei xi jia gong ji shu |d = Microfabrication technology |f 张甲, 王振龙, 周丽杰编著 |z eng

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2024

• 215 __ |a 313页 |c 图 |d 26cm

• 225 2_ |a 先进制造理论研究与工程技术系列 |A xian jin zhi zao li lun yan jiu yu gong cheng ji shu xi lie

• 300 __ |a “十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目

• 320 __ |a 有书目 (第294-313页)

• 330 __ |a 本书从当前微纳零件及微系统的制造需求出发，论述了微纳尺度下力学、热学、光学、电学等的变化特点，进而从加工原理、加工装备、加工工艺等方面阐述了各类微细加工技术的新进展。全书共11章，内容包括：微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。

• 410 _0 |1 2001 |a 先进制造理论研究与工程技术系列

• 510 1_ |a Microfabrication technology |z eng

• 606 0_ |a 特种加工 |A te zhong jia gong

• 690 __ |a TG66 |v 5

• 701 _0 |a 张甲 |A zhang jia |4 编著

• 701 _0 |a 王振龙 |A wang zhen long |4 编著

• 701 _0 |a 周丽杰 |A zhou li jie |4 编著

• 801 _0 |a CN |b 浙江省新华书店集团馆藏图书有限公司 |c 20250225

• 905 __ |a XATU |d TG66/29

• 920 __ |a 261060 |z 1

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