MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：19
- 题名/责任者:
- 基于深度学习的晶圆缺陷检测算法研究/李洋著 王建国教授指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2022
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 57页;29cm
- 个人责任者:
- 李洋 著
- 个人次要责任者:
- 王建国教授 指导
- 非控制主题词:
- 半导体晶圆；深度学习；缺陷检测；特征提取网络；后处理算法
- 中图法分类号:
- TP27
- 学位论文附注:
- 硕士学位论文——西安工业大学计算机科学与工程学院，2022
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