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• 106 __ |a r

• 200 1_ |a 基于深度学习的晶圆缺陷检测算法研究 |A Ji Yu Shen Du Xue Xi De Jing Yuan Que Xian Jian Ce Suan Fa Yan Jiu |f 李洋著 |g 王建国教授指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2022

• 215 __ |a 57页 |d 29cm

• 328 __ |a 硕士学位论文——西安工业大学计算机科学与工程学院，2022

• 610 0_ |a 半导体晶圆；深度学习；缺陷检测；特征提取网络；后处理算法 |A Ban Dao Ti Jing Yuan；Shen Du Xue Xi；Que Xian Jian Ce；Te Zheng Ti Qu Wang Luo；Hou Chu Li Suan Fa

• 690 __ |a TP27 |v 4

• 701 _0 |a 李洋 |A Li Yang |4 著

• 702 _0 |a 王建国教授 |A Wang Jian Guo Jiao Shou |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928

• 905 __ |a XATU |d TP27/132

• 920 __ |a 261060 |z 1