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题名/责任者:

电子束曝光微纳加工技术/顾文琪主编 王理明 ... [等] 著

出版发行项:

北京:北京工业大学出版社,2004

ISBN及定价:

7-5639-1300-9/CNY50.00

载体形态项:

310页:图;26cm

丛编项:

电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著

个人责任者:

顾文琪, 1941- 主编

个人次要责任者:

王理明 著

学科主题:

电子束-曝光

中图法分类号:

TN305.7

书目附注:

有书目。

提要文摘附注:

本书系统地介绍了电子束曝光技术的发展和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时，详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标，电子光学柱、精密工件台等分部件和掩模版制作、电子束直刻等关键技术。

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