MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：19
- 题名/责任者:
- 熔石英平面元件离子束抛光工艺研究/张兴星著 蒋世磊教授指导
- 出版发行项:
- 西安:西安工业大学,2020
- ISBN及定价:
- 缴送
- 载体形态项:
- 47页;29cm
- 个人责任者:
- 张兴星 著
- 个人次要责任者:
- 蒋世磊教授 指导
- 非控制主题词:
- 离子束抛光；微纳结构；射频离子源；表面粗糙度
- 中图法分类号:
- TH74
- 学位论文附注:
- 专业硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2020
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