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• 200 1_ |a 熔石英平面元件离子束抛光工艺研究 |A Rong Shi Ying Ping Mian Yuan Jian Li Zi Shu Pao Guang Gong Yi Yan Jiu |f 张兴星著 |g 蒋世磊教授指导

• 210 __ |a 西安 |c 西安工业大学 |d 2020

• 215 __ |a 47页 |d 29cm

• 328 __ |a 专业硕士学位论文——西安工业大学光电工程学院，2020

• 610 0_ |a 离子束抛光；微纳结构；射频离子源；表面粗糙度 |A Li Zi Shu Pao Guang；Wei Na Jie Gou；She Pin Li Zi Yuan；Biao Mian Cu Cao Du

• 690 __ |a TH74 |v 4

• 701 _0 |a 张兴星 |A Zhang Xing Xing |4 著

• 702 _0 |a 蒋世磊教授 |A Jiang Shi Lei Jiao Shou |4 指导

• 801 _0 |a CN |b XATU |c 20200928

• 905 __ |a XATU |d TH74/132

• 920 __ |a 261060 |z 1