MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：31
- 题名/责任者:
- 集成电路与光刻机/王向朝, 戴凤钊等著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2020
- ISBN及定价:
- 978-7-03-065792-3/CNY58.00
- 载体形态项:
- 133页:彩图;24cm
- 个人责任者:
- 王向朝 著
- 个人责任者:
- 戴凤钊 著
- 学科主题:
- 集成电路
- 学科主题:
- 光刻设备
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 书目附注:
- 有书目 (第121-133页)
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程。重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等。简要介绍了计算光刻技术。最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
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