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题名/责任者:

微机电系统（MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用/(美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编 周海宪，程云芳，周华伟等译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-111-64958-8/CNY139.00

载体形态项:

23,383页:图，照片;26cm

并列正题名:

MEMS:fundamental technology and applications (devices, circuits, and systems)

其它题名:

元器件、电路及系统集成技术和应用

丛编项:

微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

个人责任者:

(美) 乔杜里 (Choudhary, Vikas) 主编

个人责任者:

(加) 印纽斯基 (Iniewski, Krzysztof) 主编

个人次要责任者:

周海宪 译

个人次要责任者:

程云芳 译

个人次要责任者:

周华伟 译

学科主题:

微机电系统-研究

中图法分类号:

TH-39

版本附注:

由Taylor & Francis Group LLC出版公司授权出版

出版发行附注:

本书限中国大陆发行

相关题名附注:

版权页英文题名：MEMS: fundamental technology and applications (devices, circuits, and systems)

提要文摘附注:

本书共19章，分为两大部分：第1-9章为突破性技术部分，讨论各类新型微机电系统（MENMS）器件；第10-19章属应用部分，阐述以MEMS为基础的各种新颖的应用。

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