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  1. 中文图书1.微机电系统（MEMS):元器件、电路及系统集成技术和应用 TH-39/183

    馆藏复本：2
    可借复本：1     (美)维卡斯·乔杜里(Vikas Choudhary)，(加)克日什托夫·印纽斯基(Krzysztof Iniewski)主编
    机械工业出版社 2020
    (0) 馆藏

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