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题名/责任者:

MEMS技术前沿与应用发展/尤政, 赵嘉昊编著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-118-11947-3/CNY188.00

载体形态项:

XIV, 348页:图;24cm

并列正题名:

Frontier and application development of MEMS technology

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

尤政 编著

个人责任者:

赵嘉昊 编著

学科主题:

微电机

中图法分类号:

TM38

一般附注:

“十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书共分为12章。前3章从MEMS的基础概念、基本方法破题，围绕MEMS的制造、集成、测试技术加以展开，从硅/非硅微加工到封装、集成与测试技术，并从军事航天的应用领城对MEMS制造与集成技术进行了分析及讨论；第4-10章详细介绍了惯性MEMS技术、射频MEMS技术、微能源MEMS技术、生物MEMS技术、可穿戴/植入MENS技术、空间MEVMS技术以及极端环境应用的MEMS技术；第11-12章分别讨论了MEMS技术的新原理新效应，以及MEMS技术的产业化发展现状。

使用对象附注:

本书适用于与微米纳米技术相关的MEMS、纳米技术、微电子、光电子、传感与测控等领线科技人员与管理者，以及高等院校相关学科的科研人员、研究生、高年级本科生

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