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中文图书1.MEMS技术前沿与应用发展 TM38/25
馆藏复本:2
可借复本:1 尤政, 赵嘉昊编著
国防工业出版社 2019
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中文图书2.硅MEMS工艺与设备基础 TM38-39/1
馆藏复本:2
可借复本:0 阮勇, 尤政编著
国防工业出版社 2018
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中文图书3.微纳尺度系统工程 TB383/162
馆藏复本:2
可借复本:1 (美) M. 安·加里森·达林, 珍妮特·L. 巴斯著
国防工业出版社 2015
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