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题名/责任者:

芯片制造:半导体工艺制程实用教程/(美) Peter Van Zant著 韩郑生译

版本说明:

第3版

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-121-24336-3/CNY59.00

载体形态项:

376页:图;26cm

并列正题名:

Microchip fabrication : a practical guide to semiconductor processing

其它题名:

半导体工艺制程实用教程

丛编项:

国外电子与通信教材系列

个人责任者:

赞特 (Zant, Peter Van) 著

个人次要责任者:

韩郑生 译

学科主题:

芯片-半导体工艺

中图法分类号:

TN430.5

版本附注:

据原书第6版译出

出版发行附注:

由麦格劳-希尔(亚洲)教育出版公司授权合作出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书是一本介绍半导体集成电路和器件制造技术的专业书籍，在半导体领域享有很高的声誉。本书的讨论范围包括半导体工艺的每个阶段：从原材料的制备到封装、测试和成品运输，以及传统的和现代的工艺。全书提供了详细的插图和实例，每章包含回顾总结和习题，并辅以丰富的术语表。第六版修订了微芯片制造领域的新进展，讨论了用于图形化、掺杂和薄膜步骤的先进工艺和尖端技术，使隐含在复杂的现代半导体制造材料与工艺中的物理、化学和电子的基础信息更易理解。

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