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题名/责任者:

纳米集成电路制造工艺/张汝京等编著

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-302-36027-8/CNY69.00

载体形态项:

XIII, 433页:图;26cm

并列正题名:

Nanoscale integrated circuits —— the manufacturing process

个人责任者:

张汝京 编著

学科主题:

纳米材料-集成电路工艺

中图法分类号:

TN405

书目附注:

有书目 (第433页)

提要文摘附注:

本书介绍纳米集成电路的制造工艺, 共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面, 很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员, 有一定的参考价值。

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