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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：29

题名/责任者:
集成电路制造技术:原理与工艺/王蔚, 田丽, 任明远编著
出版发行项:
北京:电子工业出版社,2010
ISBN及定价:
978-7-121-11751-0/CNY39.80
载体形态项:
13, 395页:图;26cm
丛编项:
电子信息与电气学科规划教材.电子科学与技术类
个人责任者:
王蔚 编著
个人责任者:
田丽 编著
个人责任者:
任明远 编著
学科主题:
集成电路工艺-高等学校-教材
中图法分类号:
TN405
书目附注:
有书目 (第394-395页)
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