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题名/责任者:

微电子技术工程:材料、工艺与测试/刘玉岭等编著

出版发行项:

北京:电子工业出版社,2004

ISBN及定价:

7-120-00021-7/CNY68.00

载体形态项:

11,646页;26cm

丛编项:

微电子技术系列丛书

个人责任者:

刘玉岭 (1942~) 编著

学科主题:

微电子技术-生产工艺

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN405

提要文摘附注:

本书介绍了微电子技术衬底材料性能、加工工艺与测试技术；共分15章，内容涉及硅单晶性质与加工技术、外延、氧化、扩散、制版、图形转移、刻蚀、多层布线、封装、键合、微机械加工及检测技术。

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