MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 大规模集成电路工厂洁净技术/(日)铃木道夫等著 陈 衡等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,1990.9
- ISBN及定价:
- 7-5053-0667-7/$24
- 载体形态项:
- 522页;26厘米
- 编目员补充题名:
- 大规模 集成 电路 工厂 洁净 技术
- 个人责任者:
- 铃木道夫 著
- 个人责任者:
- 陈衡 译
- 学科主题:
- 大规模集成电路-工厂-净化
- 学科主题:
- 工厂-大规模集成电路-净化
- 学科主题:
- 净化-工厂-大规模集成电路
- 中图法分类号:
- TN47
- 提要文摘附注:
- 本书作者从理论和实践两方面详细阐述了当前大规模集成电路生产工艺对洁净技术的要求和今后发展方向、超级洁净室的设计、施工技术问题和应采取的措施、辅助设施超纯水、药品、废水处理和高纯气体等最新应用技术以及洁净室运行管理的实际问题。
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