机读格式显示(MARC)

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• 010 __ |a 7-5603-1694-8 |d 18.00元

• 092 __ |b 02-606-394

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• 200 10 |a MEMS技术及其应用 |A MEMS Ji Shu Ji Qi Ying Yong |f 李德胜等编

• 210 __ |a 哈尔滨 |c 哈尔滨工业大学出版社 |d 2002

• 215 __ |a 301页 |c 图 |d 20cm

• 300 __ |a 国家自然科学基金资助课题

• 330 __ |a 本书共分八章，在概述微机电技术(MEMS)的发展背景、现状及应用前景的基础上，介绍了MEMS基本理论，随后对MEMS相关工艺做了详尽的讲述。

• 333 __ |a 读者对象：微电子、机电一体化、精密仪器等专业的学生，工程技术人员

• 606 0_ |a 微机电 |x 技术

• 690 __ |a TN38 |v 四版

• 701 _0 |a 李德胜 |4 编 |A Li De Sheng

• 701 _0 |a 王东红 |4 编著 |A Wang Dong Hong

• 701 _0 |a 孙金玮 |4 编著 |A Sun Jin Wei

• 701 _0 |a 金鹏 |4 编著 |A Jin Peng

• 801 _3 |a CN |b CDSY |c 20020518

• 905 __ |a XATU |d TN38/1

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• 995 __ |a 261060 |f TN38/1

• 999 __ |G acqcatachi |g 20021107085327 |M acqcatachi |m 2002110809273