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• 010 __ |a 7-03-010262-2 |d 20.00元

• 021 __ |a CN |b 01-2001-4112

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• 101 1_ |a chi |a eng |c jpn

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• 200 1_ |a 光微机械电子学 |A Guang Wei Ji Xie Dian Zi Xue |f (日)板生 清等著 |g 崔东印译

• 210 __ |a 北京 |c 科学出版社 |d 2002

• 215 __ |a 192页 |c 图 |d 20cm

• 225 2_ |a 先进光电子技术丛书 |A Xian Jin Guang Dian Zi Ji Shu Cong Shu |h 9

• 314 __ |a 板生 清，东京大学研究生院工学系研究科精密机械工学专业项士课程毕业。现在东京大学研究生院新领域开创科学研究科、工学部教授。

• 330 __ |a 全书共八章，分别介绍了光微机械电子技术的定位与发展与现状，光微机械电子技术中的强度控制与定位控制、速度控制、跟踪定位，以及作为光微机械电子技术基础知识的光学知识和力学知识，最后简要介绍了作为光微机械电子技术未来发展方向的纳米技术。

• 333 __ |a 读者对象：高校机械、电子、信息、光学专业师生、研究生，相应领域的科技人员

• 410 _0 |1 20010 |a 先进光电子技术丛书

• 606 0_ |a 光电子技术-机电一体化 |A Guang Dian Zi Ji Shu - Ji Dian Yi Ti Hua

• 606 0_ |a 微电子技术-机电一体化 |A Wei Dian Zi Ji Shu - Ji Dian Yi Ti Hua

• 690 __ |a TN2 |v 四版

• 701 _0 |a 板生 清 |A Ban Sheng Qing |4 著

• 701 _0 |a 保坂 宽 |A Bao Ban Kuan |4 著

• 701 _0 |a 版桐祥雅 |A Ban Tong Xiang Ya |4 著

• 702 _0 |a 崔东印 |A Cui Dong Yin |4 译

• 801 _0 |a CN |b XITC

• 905 __ |a XATU |d TN2/12

• 920 __ |a 261060 |z 1